Comprenez-vous la cible de capture - Connaissance

Comprenez-vous la cible qui surpasse

Principales exigences de performance du matériau cible cible:

Pureté
La pureté est l’un des principaux indicateurs de performance du matériau cible, car la pureté du matériau cible a une grande influence sur les performances du film. Toutefois, dans les applications pratiques, les exigences de pureté des matériaux cibles sont différentes.
Contenu d'impureté
Les impuretés dans les solides cibles et l'oxygène et l'eau dans les stomates sont les principales sources de pollution des couches minces déposées. Les cibles à des fins différentes ont des exigences différentes pour des teneurs différentes en impuretés. Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières en ce qui concerne la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.
Densité
Afin de réduire la porosité dans le solide de la cible et d'améliorer les performances du film pulvérisé, il est généralement nécessaire que la cible ait une densité élevée. La densité de la cible affecte non seulement le taux de pulvérisation, mais affecte également les propriétés électriques et optiques des films. Plus la densité cible est élevée, meilleures sont les propriétés des films. En outre, l'augmentation de la densité et de la résistance de la cible peut permettre à celle-ci de mieux résister aux contraintes thermiques du processus de pulvérisation. La densité est également l'un des indicateurs de performance clés des matériaux cibles.
Taille du grain et distribution de la taille du grain
Habituellement, le matériau cible est polycristallin et la taille des grains peut aller du micron au millimètre. Pour une même cible, la vitesse de pulvérisation de la cible à grain fin est plus rapide que celle de la cible à grain grossier, et la distribution en épaisseur du film déposé par la cible avec une petite différence de taille de grain (distribution uniforme) est plus uniforme.

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Emballage

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