Principales exigences de performance des cibles de pulvérisation

Principales exigences de performance des cibles de pulvérisation

Pureté des cibles de pulvérisation

La pureté est l'un des principaux indices de performance de la cible, car la pureté du matériau cible a une grande influence sur la performance du film. Cependant, dans les applications pratiques, les exigences de pureté des matériaux cibles sont également différentes.

Teneur en impuretés des cibles de pulvérisation

Les impuretés dans le solide et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les sources principales des films déposés. Des cibles différentes ont des exigences différentes pour des teneurs différentes en impuretés. Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières en ce qui concerne la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.

Densité des cibles de pulvérisation

Afin de réduire la porosité dans le solide de la cible et d'améliorer les performances du film pulvérisé, il est généralement nécessaire que la cible ait une densité élevée. La densité de la cible affecte non seulement le taux de pulvérisation, mais également les propriétés électriques et optiques des films. Plus la densité cible est élevée, meilleures sont les performances du film. De plus, l'augmentation de la densité et de la résistance de la cible permettra à celle-ci de mieux résister aux contraintes thermiques lors de la pulvérisation. La densité est également l'un des principaux indicateurs de performance des cibles.

Taille de grain et distribution granulométrique des cibles de pulvérisation

Habituellement, la cible est une structure polycristalline et la taille des grains peut aller du micron au millimètre. Pour une même cible, la vitesse de pulvérisation de la cible à grain fin est plus rapide que celle de la cible à grain grossier et la distribution en épaisseur du film déposé par la cible avec une petite différence de taille de grain (distribution uniforme) est plus uniforme.

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